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准分子激光器

发表时间:2016-11-16 18:04:38  阅读次数:3811




准分子激光光学镜片 (激光波长 193nm, 248nm, 308nm)

l  激光谐振腔片:后腔镜、输出镜

l  聚焦透镜(球面、柱面)

技术指标

Ø  材料:紫外熔石英、CaF2MgF2

Ø  Surface Figure:λ/10@633nm

Ø  镀膜:高激光损伤阈值(>1.5J/cm2@10ns